附件2： 部分集成电路生产企业免税进口集成
电路生产设备零、配件商品目录
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│序号│设备类型│ 英文名称(企业参考) │ 设备零、配件 │ 零、配件税则号列 │
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│ 1 │化学机械│CMP │研磨(二氧化硅、多晶硅、浅沟槽、铜研磨、 │84799090／84669300 │
│ │研磨设备│ │钨研磨)设备配件(化学机械研磨机) │ │
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│ 2 │ │Defect Inspection／Back Order │缺陷测试设备配件(缺陷检测仪)／自动缺陷 │90299000／90319000 │
│ │ │For RT 8800 Automatic Ret- │检查仪／缺陷分析仪／缺陷检测仪(排气管接 │ │
│ │ │icle Inspection System／Mask │口)／光罩颗粒／薄膜缺陷检测系统配件 │ │
│ │ │Particle & Pellicle Defection │ │ │
│ │ │System │ │ │
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│ 3 │ │Particle Counter │颗粒计数仪配件／粒子计数器配件 │90299000／90309000 │
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│ 4 │ │Profiler │剖面测量仪配件(高精度表面凸凹检测仪) │90309000 │
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│ 5 │ │ │表面轮廓仪配件 │90309000 │
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│ 6 │ │Wafer Sort │晶圆分类机设备配件 │84799090 │
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│ 7 │扩散设备│RTA │快速热退火炉—热退火设备配件(快速热处理器) │85149090 │
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│ 8 │ │Sheet Resistance │电阻量测仪配件／层电阻测定仪配件／比电阻测 │90309000／90319000 │
│ │ │ │定仪配件 │ │
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│ 9 │ │Surface Charge Analyzer │表面电荷分析仪配件 │90279000 │
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│10 │ │VF LPCVD │低压化学气相沉积炉管配件 │84859000／84799090／84799090│
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│11 │ │VF Poly Oxide／Anneal │常压垂直炉管(包括退火、干燥、合金化、 │85149090 │
│ │ │ │膜生长垂直炉管)配件 │ │
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│12 │ │Parts for Vertical Furnace │氧化机配件 │84199090 │
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│13 │ │IPI │高温燃烧废气处理设备配件 │84199090 │
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│14 │ │Vacuum Pump │真空泵配件／干泵配件／生产真空泵配件 │84149090 │
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│15 │ │Tube Cleaner │炉管清洗设备配件／炉管清洗机配件／炉芯管清 │84219990／85149090 │
│ │ │ │洗机配件 │ │
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│16 │ │Dry Scrubber │干式清洗设备配件(清洗机) │84199090 │
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│17 │ │Parts Cleaner HF │零件清洗机配件 │84249090／84219990／85439090│
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│18 │ │ │静态老化炉配件 │84179090 │
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│19 │ │ │数字器件标准老化炉配件 │85149000 │
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│20 │ │ │单晶硅外延炉配件 │84179090 │
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│21 │ │ │老化炉配件 │85149000 │
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│22 │ │ │扩散炉配件 │85149090 │
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│23 │ │ │聚酰胺烘陪炉配件 │85149090 │
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│24 │ │ │氮气处理配件 │85149090 │
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│25 │ │ │椭圆仪配件 │90319000 │
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│26 │ │ │扩散用工夹具清洗机／化学气相沉积用工夹具 │85149090／84799090／84669300│
│ │ │ │清洗／工夹具有机清洗装置配件 │ │
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│27 │ │ │温度控制器配件 │90329000 │
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│28 │ │ │温度分布测定机配件 │90319000 │
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│29 │化学气相│ │除害装置配件 │84219990 │
│ │沉积／薄│ │ │ │
│ │膜设备 │ │ │ │
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│30 │ │ │四乙氧基硅烷(TEOS)供给系统配件 │84799090 │
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│31 │ │ │磷浓度测定仪配件 │90269000 │
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│32 │ │ │尘埃检查仪配件 │90309000 │
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│33 │ │ │粒子监视系统配件 │90309000 │
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│34 │ │ │供气系统／气体供给系统配件 │84799090 │
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│35 │ │ │气体精制机(氮气)配件 │84219990 │
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│36 │ │ │涡轮分子泵／低温泵配件 │84139100 │
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│37 │ │ │特性检查配件 │90319000 │
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│38 │ │ │气体泄漏监视系统配件 │90269000 │
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│39 │ │ │气体集中供给装置配件 │84799090 │
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│40 │ │ │CIF3废气吸附装置配件 │84219990 │
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│41 │ │ │聚酰亚胺烘焙配件 │84799090 │
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│42 │薄膜设备│FTIR │傅力叶红外线检测仪配件(量测仪) │90319000 │
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│43 │ │PVD │物理气相沉积设备(仪)配件 │84219990 │
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│44 │ │CVD │化学气相沉积设备(仪)配件／化学气相沉积 │84219990／84799090 │
│ │ │ │设备／高密度等离子化学气相沉积／亚大气压化 │ │
│ │ │ │学气相沉积配件 │ │
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│45 │ │SMIF ARM │标准机器界面设备配件(晶片上料机) │84859000 │
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│46 │ │SMIF │小型无尘室配件 │84219990 │
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│47 │ │Parts Cleaner │工艺配件清洗设备(包括石英管、片架、片 │84249090／84219990 │
│ │ │ │盒、晶盒掩模版等)配件(零件清洗机)(清 │ │
│ │ │ │洗机) │ │
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│48 │ │ │擦片机配件／化学机械抛光擦片机配件／浅沟道 │84799090／84669100 │
│ │ │ │隔离化学机械研磨擦片机／双面擦片机配件 │ │
│ │ │ │ │ │
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│49 │ │Waste Gas Treatment(In- │工艺废气处理设备配件(高温燃烧废气处理 │85149090 │
│ │ │cluding Local Scrubber， │设备) │ │
│ │ │Burn Tube，Cool Trap…) │ │ │
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│50 │ │Stress Measurement System │应力测量仪配件／应力测定仪配件 │90309000／90269000 │
│ │ │Parts │ │ │
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│51 │ │Sputter │溅射设备配件 │84799090 │
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│52 │ │Vapor HF │气相清洁设备配件 │84799090 │
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│53 │ │XRF │X射线测量仪配件(X射线晶片分析仪) │90309000 │
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│54 │ │Cu Plating │铜电镀机配件 │84799090 │
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│55 │ │Wafer Transfer System Parts │晶盒运输设备配件 │84859000／84799090 │
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│56 │ │Wafer Scrubber System Pans │晶片清洗设备(清洗机)(清洁机)(硅片清 │84219990 │
│ │ │ │洗机)(清洗过滤机)配件 │ │
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│57 │ │Liquid Delivery System Parts │自动供液系统(输送机)配件 │84859000 │
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│58 │ │Sheet Resistance Measure- │阻抗量测仪器及配件 │90309000 │
│ │ │ment System and Parts │ │ │
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│59 │ │ESD TLP System │静电测试系统配件 │90309000 │
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│60 │金属化 │ │溅射台配件 │84799090 │
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│61 │ │ │段差测定仪配件 │90319000 │
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│62 │ │ │表面反射率计配件 │90319000 │
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│63 │ │ │真空烘箱／烘箱／HT烘箱配件 │85149090／85149000 │
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│64 │ │ │固化烘箱／塑封固化烘箱配件 │84779000 │
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│65 │ │ │喷砂机配件 │84249090 │
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│66 │ │ │干燥机／版盒干燥机配件 │85149090 │
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│67 │ │ │萤光X线分析装置配件 │90319000 │
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│68 │干法蚀刻│Comer Rounding │倒角设备配件 │84669300 │
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│69 │ │Metal／W Etchback Etch │金属／钨回蚀设备配件 │84669300 │
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│70 │ │Microscope／Wafer Loader │光学显微镜／硅片承载器配件 │90119000 │
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│71 │ │Etch-Spacer │衬垫蚀刻设备配件 │84669300 │
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│72 │ │Opticstation │光学检测设备配件 │90319000 │
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│73 │ │Etch │蚀刻设备配件(刻蚀机)／电浆蚀刻机配件／干 │84669300／84669300 │
│ │ │ │式蚀刻机(铬膜和半透膜)配件／反应离子刻 │ │
│ │ │ │蚀仪配件／反应离子刻蚀系统配件／背面多晶刻 │ │
│ │ │ │蚀机配件／研削用背面刻蚀机／等离子刻蚀机配 │ │
│ │ │ │件 │ │
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│74 │ │Plasma Clean │等离子体清洁设备配件 │84799090 │
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│75 │ │Resist Strip │去胶机／等离子去胶机／酸去胶机配件 │84219990／84799090／84669300│
│ │ │ │ │／84669300 │
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│76 │ │SN De-Polymer │高分子聚合物去除设备配件 │84799090 │
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│77 │ │UV Curing-MET │紫外线固化(金属)设备配件 │84799090 │
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│78 │ │ │回刻机配件 │84669300 │
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│79 │ │ │气体泄漏监视装置配件 │90269000 │
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│80 │ │ │工夹具水洗装置配件 │84669300 │
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│81 │ │ │工夹具干燥装置／化学气相沉积用工夹具干燥 │85149090／84799090 │
│ │ │ │配件 │ │
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│82 │研磨设备│Backside Grinder／Polisher │晶片背研磨机(研磨机)配件 │84799090／84669300 │
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│83 │ │Backside Thickness Measure- │背面测厚仪配件 │90269000 │
│ │ │ment │ │ │
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│84 │ │Detape │去膜机配件／卸膜机配件 │84799090／84669300 │
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│85 │ │Tape │贴膜机配件 │84799090／84669300 │
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│86 │离子注 │Dose Measurement │剂量测量设备配件 │90289010 │
│ │入设备 │ │ │ │
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│87 │ │Current IMP │离子注入设备配件(高速流、高能量) │85439010 │
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│88 │ │ │离子注入设备配件(中速流) │85439010 │
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│89 │ │ │喷砂机配件 │85439090 │
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│90 │光罩生产│AIMS Metrology System │空间影像模拟系统配件 │90089090 │
│ │设备 │ │ │ │
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│91 │ │Auto Pellicle Mounting Sys- │自动防尘保护膜系统配件 │84799090 │
│ │ │tern │ │ │
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│92 │ │CD Metrology System │微距量测系统配件 │90179000 │
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│93 │ │Coater & Hot Plate │镀膜机配件 │84799090 │
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│94 │ │FIB Reticle Repair System │聚焦离子束光罩修补系统配件(光罩修补系 │90279000 │
│ │ │ │统) │ │
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│95 │ │Film Thickness Measurement │薄膜厚度量测机(测量仪器)／膜厚测定仪／厚 │90309000／90319000 │
│ │ │Tool │度仪配件 │ │
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│96 │ │Laser Beam Writing │扫描式(步进式、电子束、镭射束)曝光机 │90109090 │
│ │ │ │配件 │ │
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│97 │ │ │镭射束(电子束)曝光机配件(镭射刻读机) │84799090 │
│ │ │ │配件 │ │
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│98 │ │Lair Reticle Repair System │镭射光罩修补系统配件(光罩修补系统) │90279000 │
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│99 │ │ │光罩修补系统配件 │90279000 │
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│100 │ │M&M Visual Inspection │目检机(包括焊线目检机、自动目检机、自 │90319000／84799090 │
│ │ │Tool │动盘装目检机、自动管装目检机)配件 │ │
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│101 │ │Manual Pellicle Mounting │手动防尘保护膜系统配件 │84799090 │
│ │ │Tool │ │ │
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│102 │ │Optical Chemical Processor │光学化学制程机配件(光掩模制程机) │90109090 │
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│103 │ │Overlay Metrology System │标记误差量测系统配件(叠对标记差测量仪) │90179000 │
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│104 │ │Phase Angle Measurement │相位量测系统配件 │90179000 │
│ │ │Tool │ │ │
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│105 │ │Starlight Inspection System │微尘检验系统配件(脏污检验系统) │90309000 │
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│106 │ │Reticle Fine-cleaning │光罩清洗系统配件／湿式光罩清洗仪配件(水 │84799090 │
│ │ │System／Wet Bench │洗台)／去光阻清洗系统配件 │ │
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│107 │ │ │扫描电子测量仪配件 │90309000 │
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│108 │产品工程│MOSAID EFA Tester │测试机配件 │90309000 │
│ │设备 │ │ │ │
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│109 │ │UV Eraser │紫外线光源擦除机配件 │85439090 │
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│110 │ │Cycling Machine │重复读写测试机配件 │90309000 │
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│111 │ │Precision Semiconductor Pa- │精密半导体参数分析仪(参数分析仪)配件 │90279000 │
│ │ │rameter Analyzer │ │ │
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│112 │光刻设备│Ammonia Detector │氨气检测器配件(多种气体分析仪) │90279000 │
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│113 │ │Hot Plate │热板烘干机配件 │84799090 │
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│114 │ │In-Line DUV Scanner │光刻机配件 │90109090 │
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│115 │ │ │光刻机用控制器配件 │84859000 │
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│116 │ │In-Line DUV Track │在线式涂布显影机配件 │84799090 │
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│117 │ │Mask Optical Microscope │显微镜(包括红外线电子显微镜、电子显微 │ │
│ │ │ │镜、穿透式电子显微镜、电子扫描显微镜、 │90129000／90119000 │
│ │ │ │非接触测量显微镜)配件 │ │
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│ │ │ │光学显微镜配件／激光显微镜／金相显微镜／X │ │
│118 │ │ │射线显微镜／高倍显微镜／共聚焦显微镜／发射 │90119000 │
│ │ │ │显微镜配件 │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│119 │ │ │立体显微镜配件 │90119000 ． │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│120 │ │Overlay │套刻精度仪配件(量测仪)／套刻精度检测仪 │90309000／90319000 │
│ │ │ │配件 │ │
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│121 │ │Coater │涂布机配件(涂胶机)／涂敷机配件 │84799090 │
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│122 │ │Developer／PR Reworker │显影机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│123 │ │Reworker Dryer before Cure │光刻胶预处理设备配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│124 │ │ │紫外线光刻胶硬化机配件 │90109090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│ │ │Reticle Charger／Macro Check │ │ │
│125 │ │ │光罩检测仪配件(晶片盒开封机) │84799090 │
│ │ │Station │ │ │
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│126 │ │Starlight Mask Inspection │光罩检测检查系统配件 │90319000 │
│ │ │System │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│127 │ │ │版盒清洗机配件 │90330000．90 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│128 │ │ │硅片周边曝光装置配件 │90330000．90 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│129 │ │ │紫外固胶机配件 │90330000．90 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│130 │ │ │紫外线处理装置配件 │90330000．90 │
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│131 │ │ │罩清洗机配件 │90330000．90 │
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│132 │ │ │显影液供给系统配件 │90330000．90 │
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│133 │ │ │溶剂供给系统配件 │90330000．90 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│134 │ │ │氦气气瓶柜配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│135 │ │ │掩膜板检测仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│136 │ │ │扫描电镜配件 │90119000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│137 │ │ │聚焦离子光束、扫描电子显微镜配件 │90330000．90 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│138 │ │ │测试工作台配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│139 │ │ │硅片分类机／倒片机／超高压化学气相沉积倒片 │84799090 │
│ │ │ │机配件 │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│140 │ │ │外观检查仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│141 │ │ │背面外观仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│142 │质量保证│SIMS │二次离子质谱仪配件(质谱仪)／电感偶合质 │90279000 │
│ │设备 │ │谱仪配件 │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│143 │ │Air Sampler │空气取样器配件(极早期空气采样系统) │90329000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│144 │ │GC／MS (Gas Chromato-graphy) │气相色谱质谱联用分析仪配件 │90279000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│145 │ │GFAAS │石墨炉原子吸收光谱仪配件(原子吸收分光 │90279000 │
│ │ │ │光谱仪) │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│146 │ │Ion Chromatography │离子色谱仪配件 │90279000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│147 │ │KF Titrator │水分滴定仪配件(水分仪) │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│148 │ │Microwave Concentrator │微波浓缩装置配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│149 │ │Auto Titrator │自动电位滴定仪配件(自动滴定仪) │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│150 │ │Viscometer │粘度计配件(粘度测量仪) │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│151 │ │Hot Plate │搅拌器配件 │84749000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│152 │ │ │加热器配件 │85169090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│153 │可靠性保│Auto-Decapsulation Machine │自动开封机配件(晶片盒开封机) │84799090 │
│ │证设备 │ │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│154 │ │FIB │聚焦离子束设备配件 │85439030 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│155 │ │Ion Milling │离子减薄机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│156 │ │Micro Cleaving │裂片机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│157 │ │Microsection／Polisher │抛光机配件(化学机械抛光设备) │84859000／84669100 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│158 │ │Precision Saw │精密切割仪／激光切割机配件(低速切割机) │84859000／84669300 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│159 │ │Reflow │回流焊设备配件 │84689000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│160 │ │Sample Preparation-CO2(下标) │二氧化碳气泡机配件 │84799090 │
│ │ │System │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│161 │ │Sample Preparation-Dicing │划片机配件 │84799090／84779000／84649100│
│ │ │Saw │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│162 │ │Sample Preparation-Die │上片机配件(粒子上片机) │84799090 │
│ │ │Bonder │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│163 │ │Sample Preparation-Wafer │粘片机配件 │84799090 │
│ │ │Mounter │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│164 │ │Sample Preparation-Wire │焊线机配件 │85159000 │
│ │ │Bonder │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│165 │ │X-ray │X射线分析仪配件(X射线晶片分析仪) │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│166 │ │Failure Analysis Instrument │故障分析仪配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│167 │ │Failure Analysis Sample │失效分析样品制备系统配件 │90319000 │
│ │ │Preparation │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│168 │ │EL Grade Clean Plastic Bot- │超洁净塑料瓶 │39269010 │
│ │ │tle(PE／PP／PTFE) │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│169 │ │Sterilized Sampling Tube │无菌采样管 │39172900 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│170 │ │Volumetric Flask(PE／PP／ │超洁净塑料凉瓶 │39269010 │
│ │ │PFA／PMP) │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│171 │ │Micropipette │微量移液管 │39269010 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│172 │ │DIW Sample Bag │无菌取样袋 │39239000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│173 │ │Plastic Syringe │无菌塑料针管 │39173900 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│174 │ │ │分析装置配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│175 │ │ │去离子水系统配件 │84219990 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│176 │ │ │中央控制系统配件 │84733090．90 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│177 │ │ │蒸汽回流机配件 │85439090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│178 │ │ │红外线回流系统配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│179 │ │ │塑模开封机配件 │84669100 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│180 │ │ │化学腐蚀装置配件 │84669300 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│181 │ │ │超声波清洗系统配件 │84669300 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│182 │ │ │超声波图机配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│183 │ │ │热载流子分析仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│184 │ │ │曲线跟踪仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│185 │ │POD／Cassette Inspection │晶盒检测仪配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│186 │ │TXRF │X射线荧光光谱仪配件 │90279000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│187 │ │W．S．Wafer Scrubber-Non │晶片去离子水喷射刷洗设备配件 │84249090 │
│ │ │Metal │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│188 │ │Wafer Marker │激光晶圆刻片机配件(激光刻号机) │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│189 │ │Wafer RS&THK／Flat │晶圆片厚度／平整度测量仪配件(表面凸凹检 │90309000 │
│ │ │ │测仪) │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│190 │ │ALU │石英舟自动装载设备配件(晶片盒开封机) │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│191 │研发设备│Dynamic Signal Analyzer │动态信号分析仪配件(噪声计) │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│192 │ │ │超声波扫描仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│193 │ │ │温湿度箱／压力锅配件 │85439090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│194 │ │ │高加速应力实验箱配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│195 │ │ │逻辑分析仪配件 │90279000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│196 │ │ │晶体管曲线仪配件 │85439090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│197 │ │ │静电模拟测试机配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│198 │ │LCR Meter │电感电阻电容测试仪配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│199 │ │Pulse Generator │专用脉冲发生器配件 │85439029 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│200 │ │Semiconductor Parameter │半导体参数分析设备配件(参数分析仪) │90279000／85439090 │
│ │ │Analyzermanual │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│201 │ │Semiconductor Parametric │半导体参数测试设备(仪)配件 │90309000 │
│ │ │Tester │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│202 │ │Switch Matrix │信号自动转接器配件 │85191090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│203 │ │RF Noise Figure Instrument │高频噪声系数分析仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│204 │ │ICCAP RF Measurement │高频测试系统配件 │90319000 │
│ │ │System │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│205 │ │Curve Tracer │信号轨迹追踪器配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│206 │ │ESD TLP System │静电放电测试系统配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│207 │ │ │图像处理器配件 │84719000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│208 │ │ │绘图机配件 ． │90330000．90 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│209 │ │ │热波测试仪配件 │90279090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│210 │ │ │高低温分析仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│211 │ │ │微探针台配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│212 │ │ │电子束探针／热探针仪／自动多探针配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│213 │ │ │验证测试系统配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│214 │测试设备│Laser Repair │激光修复仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│215 │ │Logic Tester │元件电参数测试设备配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│216 │ │Prober Card Check │探针卡检测仪配件(探针测试仪) │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│217 │ │Prober │探针台(手动、半自动、自动、微探针台) │84799090／90319000 │
│ │ │ │配件 │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│218 │ │ │探针卡 │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│219 │ │Wafer Bake Oven Fittings │烤箱(包括晶元烤箱、动态老化晶元烤箱、 │85149090／84199090 │
│ │ │ │银浆固化烤箱、高温烘烤箱、烤炉)配件 │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│220 │ │Logic Tester Fittings │逻辑测试机配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│221 │ │Memory Tester Fittings │记忆体测试机配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│222 │ │Wafer Loader │晶圆装载机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│223 │ │Tester Equipment PC Tool │测试设备电脑工具配件 │84719000 │
│ │ │Fittings │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│224 │ │Probe Card Making Equip- │探针卡制作设备配件 │84799090 │
│ │ │ment Fittings │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│225 │ │Ultra Sonic Container Fit- │超音波震荡器配件 │90319000 │
│ │ │tings │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│226 │ │Tester Electronic Meter Fit- │测试仪计量设备配件 │90309000 │
│ │ │tings │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│227 │ │Mother-Plate Fitting for │测试仪专用工夹具及配件 │90319000 │
│ │ │Tester │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│228 │ │Microscope Guard Against │显微镜防震工作台配件 │90119000 │
│ │ │Earthquakes Fittings │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│229 │ │Thermometer & Humidome- │温湿度测试仪配件 │90259000 │
│ │ │ter Fittings │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│230 │ │ │与机台相配套的高清晰度专用激光打印机配件 │84859000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│231 │ │Logic Analyzer Fitting │逻辑分析仪配件 │90279000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│232 │ │Precise Oscillator Fittings │精密示波器配件(示波器) │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│233 │ │Wafer Burn-in Tester Fit- │炙烧测试机配件 │84799090 │
│ │ │tings │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│234 │ │Dynamic Wafer Burn-in Bake │动态老化晶圆烤箱配件 │84199090 │
│ │ │Oven Fittings │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│235 │ │Mixed Signal Tester Fittings │混合型测试机配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│236 │ │ │数字测试系统配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│237 │ │ │混合信号测试系统配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│238 │ │ │密封机配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│239 │ │ │外观检查仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│240 │ │ │切片机配件 │84669100 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│241 │ │ │粉尘收集器配件 │84213990．90 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│242 │ │ │尘埃测定器配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│243 │ │ │热电子分析仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│244 │湿法刻蚀│W．S．Cleaner │湿法清洗设备配件 │84799090 │
│ │设备 │ │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│245 │ │ │晶片再生处理机配件 │84569990．90 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│ │ │Wafer Transfer／Transfer， │晶片传送器配件(晶片传送机) │84859000 │
│246 │ │Horizontal，Wafer，Auto- │ │ │
│ │ │matic │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│247 │ │ │超声清洗机／酸清洗机／超声清洗机／片盒清洗 │84669300 │
│ │ │ │干燥机／剥膜清洗机／自动腐蚀清洗机／片架清 │ │
│ │ │ │洗机配件 │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│248 │ │ │氧化膜腐蚀配件 │84669300 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│249 │ │ │氮化硅腐蚀配件 │84669300 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│250 │ │ │磷玻璃层去除设备配件 │84669300 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│251 │ │ │化学机械抛光清洗机配件 │84669100 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│252 │ │ │浆料供给装置配件 │84669300 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│253 │ │ │光刻胶剥离配件 │84669300 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│254 │ │ │减薄机配件 │84669100 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│255 │ │ │化学机械研磨用纯水加压装置配件 │84669100 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│256 │ │ │半球形玻璃(HSG)前处理装置配件 │84669300 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│257 │ │ │寿命测试仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│258 │ │ │片架检查仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│259 │ │ │淀积物去除装置配件 │84669100 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│260 │ │ │栅氧化前处理配件 │84669300 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│261 │ │ │荧光X射线分析装置配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│262 │ │ │化学机械研磨用残膜测定仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│263 │ │ │前处理装置配件 │84669300 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│264 │搬送 │ │工程间搬送设备配件 │84859000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│265 │ │ │工程间有轨／无轨搬送设备配件 │84859000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│266 │ │ │掩模版库配件 │90330000．90 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│267 │ │ │机器人配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│268 │ │ │精选机配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│269 │封装 │ │贴片机配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│270 │后工序封│ │等离子清洗机配件 │84799090 │
│ │装设备 │ │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│271 │ │ │晶片粘贴机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│272 │ │ │金线拉力检测机配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│273 │ │ │自动生产线线体配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│274 │ │ │二氧化碳充气机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│275 │ │ │印字机配件 │84439000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│276 │ │ │切筋成型机配件 │84669400 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│277 │ │ │X光机配件 │90229090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│278 │ │ │植球机配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│279 │ │ │清洗机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│280 │ │ │推球测试机配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│281 │ │ │内脚焊接配件 │84689000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│282 │ │ │封胶机配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│283 │ │ │抓料机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│284 │ │ │电镀机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│285 │后工序测│ │自动分检机配件 │84799090 │
│ │试设备 │ │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│286 │ │ │卷带包装机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│287 │ │ │老化板测试机配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│288 │ │ │自动上下料分检机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│289 │ │ │紫外线擦除机配件 │85439090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│290 │ │ │电源及其配件 │85049020 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│291 │实验分析│ │温湿度箱／压力锅配件 │85439090 │
│ │校准设备│ │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│292 │ │ │高加速应力实验箱配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│293 │ │ │回流焊机配件 │84799090 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│294 │ │ │温度循环测试机配件 │90309000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│295 │ │ │纯水加压机配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│296 │ │ │装片机配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│297 │ │ │键合机配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│298 │ │ │键合检查仪配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│299 │ │ │塑封压机／塑封机配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│300 │ │ │塑封模配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│301 │ │ │切筋打弯机配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│302 │ │ │存储器测试系统配件 │90319000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│303 │ │ │分选机配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│304 │ │ │管脚检查系统配件 │84779000 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│305 │ │ │插拔机配件 │84799090 │
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│306 │ │ │老化测试板检查仪配件 │90319000 │
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│307 │ │ │托盘处理机配件 │84779000 │
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│308 │生产管理│ │主系统服务器配件 │84733090．90 │
│ │自动控制│ │ │ │
│ │系统 │ │ │ │
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│309 │ │ │生产管理系统配件 │84733090．90 │
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│310 │ │ │管理系统服务器配件 │84733090．90 │
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│311 │ │ │自动装载系统配件 │84733090．90 │
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│312 │ │ │生产控制系统H／W配件 │84733090．90 │
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│313 │ │ │后道生产控制系统服务器配件 │84733090．90 │
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│314 │ │ │抄送邮件服务器配件 │84733090．90 │
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│315 │ │ │网络设备(FA，OA)配件 │84733090．90 │
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│316 │ │ │网络测试系统配件 │84733090．90 │
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│317 │芯片出货│Wafer Vacuum Packing Ma- │各类芯片专用真空包装机配件／真空包装机配 │84229090／84779000／84799090│
│ │检测设备│chine │件 │ │
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│318 │ │OM Digital Printer │显微镜数码打印机配件 │84859000 │
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│319 │ │OM 3CCD RGB Calmera │(带三电荷耦合装置)显微镜数码相机配件 │90069199 │
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│320 │ │Bar Code Printer │工业用条形码打印机配件 │84859000 │
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│321 │ │VLSI Standard Wafer │各类校准用标准晶片配件 │90319000 │
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│322 │ │TRH Meter，Anemometer， │各类温湿度风速压力颗粒测量仪及其记录器 │90269000 │
│ │ │TRH Recorder │配件 │ │
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│323 │ │Lockreel │塑料带轮配件 │39269090 │
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│324 │ │Tip，Wand，Vaccum │硅片(晶片)吸附头 │39269010 │
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│ │ │Vaccum Pick-Up Pencil With │ │ │
│325 │ │Head │真空吸笔及吸头 │40161010 │
│ │ │ │ │ │
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│326 │ │Cabiliary │瓷嘴配件 │69149000 │
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│327 │ │Diamond Cut-off Wheel │切割轮(金刚砂)配件 │68042100 │
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│328 │ │Diamond Blade │切割刀配件 │82089000 │
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│329 │ │Reject Pin │顶起针配件 │73199000 │
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│330 │ │Magazine／Frame │弹匣／芯片承载环配件 │73261910 │
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│331 │ │Tweezer，Wafer │晶片镊 │82032000／73269010 │
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│332 │ │Print Cartridge │喷塑匣配件 │84719000 │
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│333 │ │HPC Sampler Red 25／PK │去离子水细菌测量抽样仪配件 │90318090 │
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│334 │电学计量│Digital Multimeter Calibrator │数字多用表校准标准器配件 │90319000 │
│ │校准检定│Parts │ │ │
│ │设备 │ │ │ │
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│335 │ │Precision Oscilloscope Cali- │示波器精密校准器配件 │90309000 │
│ │ │brator Parts │ │ │
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│336 │ │AC／DC Voltage and Current │交直流电压、电流标准装置配件 │90309000 │
│ │ │Calibrator Parts │ │ │
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│337 │ │Resistance Standard Calibra- │电组标准检定装置配件 │85389000 │
│ │ │tot Parts │ │ │
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│338 │ │Multiple Channel Power Cal- │多功能标准源装置配件 │85049090 │
│ │ │ibrator Parts │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│339 │ │Signal Generator Calibrator │信号发生器检定装置配件 │90319000 │
│ │ │Parts │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│340 │力学计量│Pressure Gauge Calibrator │压力表检定装置配件 │90269000 │
│ │校准检定│Parts │ │ │
│ │设备 │ │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│341 │ │Liquid／Gas Flow Meter Cali- │流量计标准装置配件 │90269000 │
│ │ │brator Parts │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│342 │ │Velocity Meter Calibrator │转速表检定装置配件 │90269000 │
│ │ │Parts │ │ │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│343 │热工计量│Thermocouple Calibrator │热电偶检定标准装置配件 │90329000 │
│ │校准检定│Parts │ │ │
│ │设备 │ │ │ │
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│344 │ │Temperature Calibrator Parts │温度校准器配件 │90329000 │
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│345 │ │Heater Furnace Calibrator │温度炉标准配件 │90329000 │
│ │ │Parts │ │ │
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│346 │ │Control Equipment & Spare │控制装置配件 │84859000 │
│ │ │Parts │ │ │
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│347 │ │Ultra-Violet Equipment & │紫外线杀菌灯配件 │85399000 │
│ │ │Spare parts │ │ │
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│348 │纯水，排│ │化学品供应系统配件 │ │
│ │水与药品│ │ │ │
│ │供给回收│ │ │ │
│ │系统 │ │ │ │
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│349 │ │ │化学品混合机配件 │84799090 │
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│350 │电气系统│ │六氟化硫组合电器柜配件 │85489000 │
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│351 │ │ │10kV真空断路器配件 │85489000 │
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│352 │ │ │电力数据采集监控系统配件 │85489000 │
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│353 │ │ │高电压绝缘开关柜／高电压真空开关柜／不间断 │85389000 │
│ │ │ │电源用高电压开关柜／高电压开关柜配件 │ │
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│354 │ │ │高电压主变压器／站用干式变压器／不间断电源 │85030090／85049019 │
│ │ │ │用干式变压器／不间断电源用旁路变压器配件 │ │
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│355 │ │ │电力电容成套装置配件 │85389000 │
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│356 │ │ │综合保护装置配件 │85389000 │
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│357 │ │ │高电压电压监视系统配件 │85389000 │
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│358 │ │ │ATS电源转换装置配件 │85049019 │
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│359 │ │ │发电机并车装置配件 │85030090 │
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│360 │ │ │中央监控站设备配件 │85389000 │
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│361 │ │ │冷冻机组配件 │84189999 │
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│362 │ │ │高效风车过滤单元配件 │84219990 │
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│363 │ │ │高效率过滤器配件 │84219990 │
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│364 │ │ │静电消除装置配件 │90329000 │
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│365 │ │ │温湿度监控系统配件 │85319090 │
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│366 │ │ │真空扫除机配件 │84219990 │
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│367 │气体系统│ │气体品质监控系统配件 │85319090 │
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│368 │ │ │气瓶柜输送系统配件 │84313900 │
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│369 │ │ │气体纯化器系统配件／气体纯化装置配件 │84219990 │
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│370 │ │ │气体溅楼漏侦测系统配件 │85319090 │
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│371 │化学品过│ │控制装置配件 │84733090 │
│ │滤及供应│ │ │ │
│ │系统 │ │ │ │
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│372 │ │ │管道阀及其配件 │84819010 │
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│373 │ │ │过滤器滤芯及其配件 │84219990 │
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│374 │ │ │化学品储存桶槽及其配件 │39269010 │
├──┼────┼───────────────┼──────────────────────┼──────────────┤
│375 │ │ │化学品成分及浓度测量装置及其配件 │90289090 │
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│376 │ │ │重量测量装置及其配件 │84239000 │
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